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性能指标:
1、Cu靶,陶瓷X光管,2.2KW ;焦斑大小:0.4x12mm ;
2、可做微区分析直径0.1mm-2mm;
3、2theta角转动范围:0.5—120°;
4、探测器扫描方式:零维、一维、二维模式。
功能及应用 :
1、小角衍射(0.5-5°);广角衍射(5-120°)定性、定量分析、结晶度测量、晶粒大小、结构精修等 ;
2、薄膜材料的掠入射衍射分析、反射率、应力分析;
3、微区分析:微区应力、微区物相(测试面积:直径0.1mm-2mm);
4、应力分析:宏观应力、微区应力、薄膜应力; 5、织构及极图分析。
样品要求:
1、块状样品:测试面需磨成平面简单抛光、表面清洁、面积不小于10mm*10mm,高度小于13mm;
2、薄膜样品:厚度大于20nm;
3、粉末样品:颗粒度小于320目。