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性能指标 ：
1、LEI、SEI及LABE探头；
2、电子束分辨率：0.8 nm（15 kv）；1.0 nm（1 kv）；加速电压：0.1-30 kv
3、放大倍数：25-1000000倍；电子束束流：10 pA≤束流≤200 nA。
功能及应用 :
1、二次电子形貌像观测；
2、背散射电子成分像观测；
3、能谱定性定量分析、全谱智能面扫描、全谱智能线扫描；
4、低温下，冷冻样品前处理程序及二次电子及背散射电子图像观测。
样品要求:
1、所送样品必须经过干燥、保持新鲜的固体样品。粉末、块体、薄膜、硅片分散样品均可测试，样品尺寸最大不可超过50 mm x 60 mm x 25 mm（高）；
2、送样时，请简单说明测试的样品的名称、成分、状态以及测试需求等；特殊样品、特殊需求请务必注明；
3、树脂包埋样品由于内部孔洞会延长样品抽真空的时间，有条件的同学可以在实验室进行预先的抽真空处理。
