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性能指标：
1、最大样品尺寸140 mm（直径），最大厚度18 mm；
2、扫描器非线性≤0.03%；
3、XY方向最大扫描范围100 μm×100 μm；Z方向最大扫描范围15 μm；
4、XY方向闭环噪音水平：90 pm；Z方向闭环噪音水平：30 pm；
5、光电检测器带宽：8 MHz；光学系统噪音：<2 pm RMS。
功能及应用：
1、纳米材料表面微观形貌、大小、厚度和粗糙度的表征；
2、微纳米尺度三维形貌；
3、定量测量样品的力学信息，包括模量、粘附力等；
4、测量样品导电性；
5、配有倒置荧光学显微镜；
6、可在生理环境下对生物样品进行原位表征。
样品要求：
1、样品大小最大14 cm×14 cm，厚度最厚5 cm，表征目标起伏＜4 μm，最大扫描范围100 μm×100 μm×14 μm ；
2、样品上下表面整洁，没有油渍灰尘等污染物；
3、若是要表征弹性模量，请预先确定样品的杨氏模量范围；
4、若是纳米颗粒样品，先用一定的分散剂超声分散后，取一滴在云母等很平整的基底上，干燥后，高纯氮气吹扫掉松散颗粒，测试；
5、如果样品表面有无机盐，先用水等清除盐分后来测试，因为盐分结晶影响形貌的扫描；
6、如果是要测试薄膜厚度，预先把薄膜和基底做出边界清楚的台阶；
7、液下测试，液体应为中性；蛋白、纤维、细胞等，应固定与基底（具体方案咨询测试老师）。
性能指标： 1、最大样品尺寸140 mm（直径），最大厚度18 mm； 2、扫描器非线性0.03%； 3、XY方向最大扫描范围100 m100 m；Z方向最...
性能指标 ： 1、总放大倍率范围50x-1000x； 2、样品最大高度可达110 mm； 3、可反射、透射观察。 功能及应： 1、可直观检测金...